三氯氢硅合成过程中的硅粉回收装置

2.2 三氯氢硅合成脉冲除尘系统性能参数表规格型号：（单台炉套）设备型号及单套数量如下： 项目设备名称数量备注1F-1405A1套（2台）二级布袋除尘器含控制、袋式除尘系统和收尘系统2F-1405B...