多晶硅尾气处理系统的氯硅烷回收系统

目前，以冷氢化生产工艺制备多晶硅的行业中，特别是在多晶硅还原过程中，从SiHCl3中还原出来的Si，大部分会沉积在炽热的硅棒表面生成晶体硅棒，但仍会有少量的Si会进气相形成微硅粉，随着还原反应中的尾气...